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镀金蚀刻加工:光刻掩膜板的设计方法

来源:发布时间:2020-09-08 10:33:31点击率:

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    镀金蚀刻加工:光刻掩膜板的设计方法

    光刻掩膜板的设计制作加工的产品可以应用于电子束蒸发,热蒸发,磁控溅射等设备中,用来制备太阳能电池,光电探测器,LED,激光器,场效应晶体管等各种器件电极及各种薄膜材料图形设计。

    光刻掩膜板的设计制备工艺主要采用曝光腐蚀工艺(与光刻法在硅表面制备高精度的图案类似),这种方法可以根据客户要求灵活设计各种图案,且制备出来的图案尺寸标准。我们的图案尺寸精度可以达到0.01mm以上,边缘锐利无毛刺,开孔直线度好,真圆度好。

    镀金蚀刻加工在材质的选取方面,我们选用高韧性的SUS304H不锈钢材料,这样做出来的掩模板不但精度高,而且表面光滑,产品不易受弯折而变形,经久耐用,同时还能够让掩模板与器件保持很紧密的贴合,减少阴影效果。

    我们所采用的不锈钢厚度包括0.03mm,0.05mm,0.06mm,0.08mm到1mm的各种尺寸,采用较薄的不锈钢制备出来的掩模板所产生的阴影效果会更少,扰度更可控。

    方格板的厚度可以根据器件的厚度来定制,如图中所示的方格板就是可以放入厚度为0.5mm,边长为1*1cm的电池片共16片。客户还可以一次性设计几个不同厚度的方格板,这样自己就可以通过将不同厚度的方格板叠合在一起形成任意组合的厚度,以便于用于不同厚度器件的电极蒸镀。

    如果想进一步固定电池,则可以设计一个如左下角一样的光板覆盖到方格板上面,这样一方面能完全将器件固定,在一些需要将掩模板竖放或反放的设备中可以让器件不掉或松动;另一方面还能在蒸镀电极时防止器件背面被金属蒸汽污染。

    另外,由于掩膜板比较薄,若面积过大可能会发生一定的弯曲,客户还可以设计如左上角所示的掩膜板固定片压住下面的掩膜板,或者通过设计更加密集的螺丝孔,使掩膜板更加平整稳固。

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